低溫液體貯運設備首次充裝低溫液體，需要根據設備貯存介質的情況，確定是否需要進行預處理。
對貯存液氦、液氫等稀有氣體，或任何高純氣體和液氫，在充裝前，需要氣態的貯存介質對容器內部的空氣進行置換，否則壓力容器中原有的空氣將有部分會凝結，使稀有氣體或高純氣體的純度降低。對貯存高純液化氣體的設備，需要進行多次置換，直至符合要求為止。對貯存液化天然氣、液化石油氣等易燃、易爆氣體時，需要對容器內部進行惰化，即用惰性氣體置換容器內部的空氣，使設備在充裝時，內部沒有氧氣，或將氧的含量控制在安全的范圍。
置換和惰化可以采用擴散置換或連續沖洗的方法。對上千立方米大型貯槽，一般都采用連續沖洗的方法，并在貯槽內設計專用的沖洗管路。采用沖洗置換需要的氣體量，比擴散置換要少，但需要增加沖洗管路。因此，容量較小的容器一般都采用擴散置換法。
連續沖洗所需的氣體數量，可按貯槽實際容積的2-4倍計算，與最后達到的純度有關。擴散置換法根據所需純度，確定充氣壓力和次數。
