氦質譜檢漏儀采用氦作示漏氣體進行檢漏的質譜計稱為氦質譜檢漏儀。它是真空檢漏中靈敏度最高和應用最普遍的一種檢漏儀器。
(1)結構原理 氦質譜檢漏儀基本上屬于磁偏轉質譜計，主要由質譜室、真空系統和電子電路三大部分組成。質譜室是氦質譜檢漏儀的關鍵部件，它主要由離子源、分析器和接收器組成。
它的工作原理如圖2-42所示。
由于質譜室必須在高真空條件下工作，儀器的真空系統是一高真空抽氣機組，它主要由機械真空泵、油擴散泵或渦輪分子泵、冷阱(有些儀器沒有)、真空閥門以及真空計等組成。
儀器的電子電路部分主要由質譜室工作穩定電源、離子流測量放大器、音響與燈光報替裝置、真空系統電源以及控制電源等組成。采用微處理機可使氦質譜檢漏儀的整個檢漏過程實現自動控制和操作。
(2)主要技術性能
檢漏靈敏度：一般為10ˉ?~10ˉ12Pa·m3/s
返流式為10ˉ? ~10ˉ11 Pa·m3/s
工作壓力：一般為10ˉ2Pa
返流式為≥10Pa
高真空系統真空度：風冷油擴散泵機組為10ˉ3Pa
渦輪分子泵機組為10ˉ?Pa
反應時間：<1-3s
質譜室：180°(或90°)磁偏轉扇形質譜室
(3)優缺點
主要優點：
①靈敏度高、反應迅速、穩定可靠；
②采用微型計算機控制實現全自動操作；
③氦在大氣中十分稀少(約二十萬分之一)，又比空氣輕，不會造成嚴重影響；
④氦的質量小，擴散系數大，反應時間短。又不容易被吸附，容易被抽走。
⑤氦為惰性氣體，使用安全，不會影響真空衛生。
其主要缺點為結構復雜，價格昂貴。
氦質譜探漏儀也可使用真空法檢漏或加壓法檢漏。
