氦質譜檢漏儀為原子能工業中常用的一種檢漏設備，現已在吸收式制冷機組上廣泛采用。由于這種檢漏儀的靈敏度極高，因此，機組經其檢漏后，可進一步提高氣密性，有利于機組的性能及壽命的提高。
氦質譜檢漏儀的檢漏原理示意圖如圖6-6所示。將機組抽空至50 Pa的絕對壓力(真空度越高越好)，然后充入一定量的氦氣。氦氣通過泄漏處擴散到氦質譜檢漏儀的接收端，沖擊在鎢絲上，氣體離子化，依靠電子槍的作用，沿箭頭所示方向前進，并依靠電磁棱鏡分離出重離子與輕離子，在氮離子被分離的地方，設置板級。根據被檢驗處的氦離子放電量，可測得氮離子數，確定泄漏量。
1、機組內無溴化鋰溶液時的檢漏方法:
a.噴氦檢漏:
.啟動真空泵，將機組抽真空至所需要的真空度;
.將氮質譜檢漏儀與機組相連;
.對機組的焊縫、接頭及閥門等部位進行噴氮，檢漏儀會顯示出泄漏量;
.對泄漏處進行修補，修補好后再進行噴氮，直至合格。
b.氦罩檢漏:
.啟動真空泵，將機組抽真空至所需要的真空度;
.將質譜儀與機組相連;
.用氦罩罩住機組，如圖6-7所示;
.往罩里充注一定量的氦氣;
.10min后，等漏率顯示穩定，讀出漏率數值并進行記錄;
.檢驗合格的標準為漏率小于2.03 Pa·mL/s，否則要對機組重新檢漏，找出泄漏處。
需要注意的是，檢漏前，機身及焊縫處不得涂刷油漆，以免油漆涂層堵塞漏孔，而且在檢漏時，水室蓋板應打開。
2、機組已充注溴化鋰溶液或已使用過時的檢漏:
.用壓縮空氣將需要檢漏的地方吹凈，防止雜質吸進并堵塞探尖。
.按工藝要求往容器里充注一定比例的氦氣和氮氣。
.調整吸槍上的壓力控制(約10~20Pa )，以保證吸槍上有一定的吸力。
.將氦質譜檢漏儀的探尖以25mm/s的速度沿焊縫或裝配移動，探尖與測試件的表面距離保持在2~5mm。如果控制器上的讀數信號出現上升，應立即將探尖移開，等2s后再回到原處。根據讀數的最大值來判斷漏點的合格性，單點允許漏率為1. 01Pa·mL/s。對檢處漏點進行標志。對漏率大的漏點應進行處理，防止漏點的延展擴大。
.對所有的焊縫和裝配縫全部檢查后，根據標志進行補漏。補漏必須在常壓下進行，對涂有密封脂的接頭處，需先清洗螺紋，然后重新均勻涂上同樣牌號的密封脂。
.對補漏處重新進行檢漏，直至合格。
注意:在檢漏時，焊縫等不得涂刷油漆。
