真空電磁閥的故障
真空電磁閥內有線圈與彈簧，通過直流電后產生磁力。當啟動真空泵時，線圈被通電，切斷了真空電磁閥與外界的通路，打開抽氣通路;當真空泵停止時，電磁閥斷電，靠彈簧的作用，使通往機組的抽氣管路關閉，而使真空泵吸氣管路與大氣相通，以防止真空泵油被壓入機組內。
常見故障及故障排除方法如下:
1、二極管損壞:打開真空電磁閥的罩蓋，更換二極管。
2、熔斷器損壞:更換熔斷器。
3、滑桿或彈簧生銹:由于環(huán)境濕度大，以及在抽氣時，溴化鋰水溶液或冷劑水進入真空電磁閥，使之生銹而被卡住，則應將其拆開清除鐵銹等雜物。
真空隔膜閥的故障
當真空隔膜閥的手柄打滑或隔膜與閥桿脫落后，雖然依舊可進行開關動作，但膜片未產生位移，使閥門無法打開或關閉;另外，由于隔膜老化等原因，都會影響其抽氣效果，應更換手柄或真空閥隔膜。
抽氣系統的操作不當
1、由于操作失誤，無法將氣體推出，甚至會將澳化鏗溶液抽出，所以，應掌握抽氣系統的正確操作方法。
2、溶液泵出口無旁通溶液至抽氣裝置。檢查旁通閥是否開啟，或者旁通管路是否因結晶而堵塞。
