熱陰極電離真空計(jì)的工作原理
熱陰極電離真空計(jì)主要由電離規(guī)管和測(cè)量線路兩部分組成，如圖8-17所示。
規(guī)管接被測(cè)真空系統(tǒng)，其內(nèi)有三組主要電極，即陰極F、陽(yáng)極A和收集極C。在陰極F由其電源E：供電加熱而發(fā)射電子的條件下，該被發(fā)射的電子在陽(yáng)極A的電位UA作用下，加速飛行并獲得能量。當(dāng)高速電子與氣體分子相碰撞時(shí)，使其電離產(chǎn)生正離子和二次電子，正離子被電位
Uc的收集極接收而構(gòu)成正離子流I:，并由電表指示。陰極發(fā)射電子和二次電子被陽(yáng)極接收，構(gòu)成陽(yáng)極電子流I。，并由電表指示。
當(dāng)陰極發(fā)射的電子流遠(yuǎn)大于二次電子流時(shí)，正離子流I：值與規(guī)管參數(shù)、氣體種類(lèi)有關(guān)，與氣體密度n（或壓力p）及陰極發(fā)射電子流
I.成正比。故有
（8-6）
式中，I：為正離子流；p為氣體壓力；1.為陰極發(fā)射電流；k為規(guī)管常數(shù)，由真空校準(zhǔn)獲得。
因此，在規(guī)管固定和已知陰極發(fā)射電流I.的條件下，可用正離子流I表征氣體壓力p。
普通型熱陰極電離真空計(jì)的測(cè)量上限為0.1Pa，高于此壓力，離子流與氣體壓力之間的關(guān)系就嚴(yán)重偏離線性，為此開(kāi)發(fā)出一種擴(kuò)展測(cè)壁上限的高壓力熱陰極電離真空計(jì)。
高壓力熱陰極電離真空計(jì)的工作原理與普通型的相同。其規(guī)管的主要改進(jìn)是采用了抗氧化陰極和控制了二次電子流。因此，其測(cè)量上限可達(dá)102Pa，國(guó)產(chǎn)的高壓力熱陰極電離真空規(guī)管有兩種型號(hào)，即DL-5型和DL-8型。
