潔凈室外部空氣的滲入是污染干擾潔凈室潔凈度的重要原因之一。因此，必須保持一定的壓差，不同等級的潔凈室及潔凈區，與非潔凈區之間的壓差，應大于或等于5Pa，潔凈區與室外的壓差應大于等于10Pa。相反，工藝過程產生大最粉塵、有毒物質、易燃、易爆物質的工藝區，其操作室與其他房間之間應保持相對負壓。
由于凈化空調系統中，過濾器阻力的變化及室內可能有排風柜的排風，因此，維持一定的正壓必須有相應的措施和控制。通常用余壓閥、回風口阻尼層，以及用手動或自動控制回風閥來維持室內正壓。對一般空調房間，維持室內正壓的滲出風量與各風量之間的關系為：L滲（正壓）=L送一L回一L局排
正壓滲透風量可根據房間結構密封性能來確定(每米縫隙在一定壓差下通過的風量)，一般可按房間換氣次數2-6次/h取值。但由于潔凈室房間建筑比較嚴密，且正壓要求嚴格，所以采用余壓閥或差壓式電動風門調節閥較為可靠。
圖44-26為利用余壓閥控制正壓的示意圖。圖44-27為利用壓差變送器控制回風量與新風量的控制原理。對于多房間系統，則根據各室不同壓差要求，利用微機控制。
