潔凈室除了過濾器及凈化空調系統，還需要各種局部凈化設備及附屬設備。
局部凈化設備是在特定的局部空問內造成高潔凈度狀態的裝置。由于它控制區域小，所以蛟有效、節能。工藝許可的話，應盡量采用它，但送出的潔凈氣流不斷被周圍空氣污染，潔凈區域越來越小。潔凈送風氣流濃度場變化見圖44-15。
為了保護設備送出的潔凈氣流免受周圍空氣污染，可采用全壁方式(即把局部空AID月板壁全部圍檔)、部分壁方式(即部分圍檔)和空氣幕方式(用空氣幕作圍檔)。IN檔越長，潔凈區作用域越遠，但空間自由度越小，對工藝適應能力越差。有時為廠適應工藝需要不得不采用無壁方式。圖44-16示出無壁與部分壁的區別。
