第一臺(tái)采用揚(yáng)聲器驅(qū)動(dòng)的熱聲制冷機(jī)是由Hofler在1985年完成的，該機(jī)獲得了193 K的最低制冷溫度。 1986年發(fā)明了帶柱式回?zé)崞鞯臒崧暟l(fā)動(dòng)機(jī)，1990 年，由Swift和Radebaugh合作將此熱聲發(fā)動(dòng)機(jī)用于驅(qū)動(dòng)小孔脈沖管制冷機(jī)，研制成世界上第一臺(tái)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件的制冷機(jī)(見圖32-13)，并獲得了90K的最低制冷溫度。1997年，美國(guó)的NIST, Los Alamos國(guó)家實(shí)驗(yàn)室和Cryogen公司三家合作研制出了世界上最大的熱聲驅(qū)動(dòng)脈管制冷機(jī)，用于天然氣液化。該制冷機(jī)工作在駐波聲場(chǎng)，頻率為40 Hz，在120K時(shí)有2kW的制冷量，所用的諧振管有12m長(zhǎng)，大約需要燃燒30%的原料天然氣來(lái)液化剩余的70%的氣體。
1999年，LA NL研制的行波型熱聲發(fā)動(dòng)機(jī)實(shí)現(xiàn)了30%的熱轉(zhuǎn)換效率，達(dá)到卡諾效率的41%。 2006年，中科院理化所采用‘聚能熱聲諧振腔’抑制非線性聲波的產(chǎn)生和耗散，從而大幅度提高了熱聲系統(tǒng)的共振品質(zhì)因子，獲得了 1.3的高壓比，研制出的熱聲驅(qū)動(dòng)單級(jí)脈管制冷機(jī)獲得廠68K的低溫，兩級(jí)脈管制冷機(jī)獲得了20K低溫。
熱聲制冷機(jī)的關(guān)鍵技術(shù)是高效率熱致聲發(fā)動(dòng)機(jī)研究，目前世界各地的學(xué)者正致力于研究實(shí)用化的行波型熱聲發(fā)動(dòng)機(jī)，藉以推動(dòng)完全無(wú)運(yùn)動(dòng)部件制冷機(jī)的實(shí)用化。
