電子鹵素檢漏儀是一種精密的氟利昂制冷系統的檢漏儀器，靈敏度可達5g/年以下，靈敏度高的電子檢翻漏儀可檢漏出0.5g/年左右的氟利昂的泄漏量。電子鹵素檢漏儀是小型冷庫制冷系統維修時精檢制冷系統是否有泄漏問題時要用到的檢漏儀器。
電子鹵素檢漏儀的結構如圖10一28所示。用鉑絲作陰極、鉑罩作陽極構成一個電場，通電后鉑絲達到熾熱狀態，發射出電子和正離子，儀器的探頭(吸管)借助微型風扇的作用，將探測處的空氣吸入，并通過電場。如果被吸入的空氣中含有鹵素(如R12， R22,，R134等)，與熾熱的鉑絲接觸即分解成鹵化氣體，電場中一旦出現鹵化氣體，鉑絲(陰極)的離子的放射量就要迅猛增加，所形成的離子流隨著吸入空氣中的鹵素多少成比例地增減。因此，可根據離子電流的變化來確定泄漏量的多少。離子電流經過放大并通過儀表顯示出量值，同時發出音響信號。
由于電子檢漏儀的靈敏度很高。用電子鹵素檢溺儀進行精確檢漏時，必須在空氣新鮮的場所進行。檢漏儀的靈敏度是可調的，由粗檢到精檢分為幾擋。在有一定污染的環境中檢漏時，可選擇適當擋位。
使用電子檢漏儀檢漏時，應使探頭與空調器制冷系統被檢部位保持3-5mm的距離，探頭移動的速度不應超過50mm/s。使用過程中應嚴防大量氟利昂氣體吸入檢漏儀，因為過量的氟利昂會對檢漏儀的電極造成短時或永久性污染，使其探測的靈敏度大大降低。
