壓阻式傳感器的類型與優點

  壓阻式傳感器有兩種類型：一類是利用半導體材料的體電阻支撐粘貼式的應變片，做成半導體應變式傳感器；另一種是在半導體材料的基片上用集成電路工藝支撐擴散電阻，作為測量傳感元件，亦稱擴散型壓阻式傳感器，或固態壓阻式傳感器，固態壓阻式傳感器主要用于測量壓力和加速度等物理量。

  壓阻式傳感器的優點是：①靈敏度非常高，有時傳感器的輸出不需要放大可直接用于測量；②分辨度高，例如測量壓力時可測出10~20Pa的微壓；③測量元件的有效面積可做的很小，故頻率響應高；④可測量低頻加速度與直線加速度，壓阻式傳感器的最大缺點是溫度誤差較大，故需要溫度補償或在恒溫條件下使用。