傳感器內，電極的支架除要有一定的機械強度外還要有穩定的性能。因此選用溫度系數小和幾何尺寸長期穩定性好，并具有高的絕緣電阻、低的吸潮性和高的表面電阻的材料，例如石英、云母、人造寶石及各種陶咨作支架。雖然這些材料較難加工但性能遠高于塑料、有機致璃等。在溫度不太高的環境下，聚四氟乙烯具有良好的絕緣性能，選用時也可予以考不。
盡量采用空氣或云母等介電常數的溫度系數近似為零的電介質(也不受濕度變化的影響)作為電容式傳感器的電介質。若用某些液體如硅油、煤油等作為電介質，當環境溫度、濕度變化時，它們的介電常數隨之改變，產生誤差。這種誤差雖可用后接電子線路加以補償(如采用與測量電橋相并聯的補償電橋)，但不易完全消除。
在可能的情況下，傳感器內盡量采用差動對稱結構，這樣可以通過某些類型的電子線路(如電橋)來減小溫度等誤差。
可以用數學關系式來表達溫度等變化所產生的誤差，作為設計依據，但比較繁瑣。選用50kHz至幾兆赫作為傳感器的電源頻率，可以降低對傳感器絕緣部分的絕緣要求。
傳感器內所有的零件應先進行清洗、烘干后再裝配。傳感器要密封以防止水分侵入內部而引起電容值變化和絕緣變壞，傳感器的殼體剛性要好，以免安裝時變形。
