邊緣效應(yīng)不僅使電容傳感器的靈敏度降低而且產(chǎn)生非線性，因此應(yīng)盡量消除或減小它。
適當(dāng)減小極間距，使極徑與間距比很大，可減小邊緣效應(yīng)的影響，但易產(chǎn)生擊穿并有可能限制測(cè)量范圍。也可以采用電極做得極薄使與極間距相比很小的辦法來(lái)減小邊緣電場(chǎng)的影響。除此之外，可在結(jié)構(gòu)上增設(shè)等位環(huán)來(lái)消除邊緣效應(yīng)，如圖4-5所示。圖a為帶有等位環(huán)的電容式傳感器原理圖，圖b為其實(shí)例。圖中2為傳感器內(nèi)電極(圓形)，1為另一電極(可以在傳感器內(nèi)也可以是被測(cè)物)，3為等位環(huán)。等位環(huán)3安放在電極2外，且與電極2電絕緣但等電位，這樣就能使電極2的邊緣電力線平直，兩電極間的電場(chǎng)基本均勻，而發(fā)散的邊緣電場(chǎng)發(fā)生在等位環(huán)3的外周不影響工作。絕緣層4的厚度約100~200hm，隨被測(cè)物最大位移的增大而適當(dāng)加厚。等位環(huán)的外面還加有套簡(jiǎn)5，供測(cè)量時(shí)夾持用，可接大地以防止外界電場(chǎng)的干擾，且與等位環(huán)3電絕緣。連接傳感器與電子線路的電纜最好采用雙屏蔽低電容85pF/m)電纜，其芯線6接電容傳感器的電極2，內(nèi)屏蔽層7接等位環(huán)3，外屏蔽層8接大地。
如果不能采用等位環(huán)結(jié)構(gòu)而邊緣電場(chǎng)又不能忽略的情況下，為了精確的設(shè)計(jì)和計(jì)算，必要時(shí)需用電場(chǎng)圖解法來(lái)解決。
應(yīng)該指出，邊緣效應(yīng)所引起的非線性與變極上距型電容傳感器原理上的非線性正好相反，因此在一定程度上起了補(bǔ)償作用，但這是輛性了靈敏度來(lái)改善傳感器的非線性。
