采用新的檢測原理,通過微機械精細加工工藝`納米技術和大規模集成電路制造技術，利用硅作為基本材料,制作傳感器元件、信號處理電路、微處理器,并把它們集成在一塊芯片上而構成智能傳感器。這種集成化的智能傳感器在航天、導強制導、精密控制等方面具有重大的應用價值。
Motorola公司已實現了單片集成壓力智能傳感器系統。這種傳感器系統基于雙層多晶硅,單層金屬CMOS工藝,在一塊SOI襯底上集成了壓阻式力敏傳感器,溫度傳感器電流、電壓調制器、信號調理電路、10位A/D轉換器8位D/A轉換器,用于數據通信的外圍電路接口(SPT),8位微處理器(68H05),2K字節EPROM、128字節RAM和用來啟動系統的BootROM。系統采用40管腳DIP封裝,校正補償后的傳感器輸出誤差小于0.4%。
