半導體氣敏傳感器及其分類

  半導體氣敏傳感器按照半導體與氣體的相互作用在其表面還是在內部，可分為表面控制型和體控制型兩類；按照半導體變化的物理性質，又可分為電阻型和非電阻型兩種。半導體氣敏元件的詳細分類參見表4-5。電阻半導體氣敏元件是利用半導體接觸氣體時，按其阻值的改變程度來檢測氣體的成分或濃度；而非電阻型半導體氣敏元件根據其對氣體的吸附和反應使某些有關特性變化，從而對氣體進行直接或間接檢測。

  自從20世紀60年代研制成功SnO₂半導體氣敏元件后，SnO₂氣敏元件進入了試用階段，敏感材料是目前應用最多的一種器皿材料，它已經廣泛應用與工礦企業、民用住宅、賓館飯店等內部對可燃和有害氣體的檢測。