由于溴化鋰吸收式機組筒體的充氣壓力受到限制和觀察時間過長，不能滿足低檢漏率的檢測要求。為進一步提高機組的氣密性，壓力檢漏合格后，還需要再進行鹵素檢查。鹵素檢查用電子鹵素檢漏儀(晶體管檢漏儀)。
鹵素檢漏方法:先將機組抽空至5OPa的絕對壓力，然后向機組內充入一定比例的氮氣和氟利昂(如R22等)。一般來說，氟利昂約占20%。氣體充分混合后，再用鹵素檢漏儀對焊縫、閥門、法蘭密封面及螺紋接頭等處檢漏。
鹵素檢漏合格后，機組需抽成真空狀態，但機組中的氟利昂難以抽空。由于氟利昂擴散性很強，因此，在機組抽成真空后，再向機組內充灌一些氮氣，與機組內殘留的氟利昂混合，再將機組抽至真空。這樣反復幾次，最后將機組抽至高真空狀態。
